電子管 の 陰極 から放出された電子群に，適当な電界または 磁界 をかけて加速し，また方向性を整えてつくった電子流束。 粒子 としての 性質 と同時に ド・ブロイ波 で表わされる 波動 としての性質をもつ。 X線管 ， 電子顕微鏡 ， ブラウン管 オシロスコープ，テレビジョンにおける 録画 に使われるほか，物体に照射してその 加熱 ， 溶接 ，加工に用いられる。 特に電子ビームによる極微細加工は，電子ビームの 波長 を光の波長より十分短くできるため超 LSI用の サブミクロン (1μm以下) 幅の パターン形成 に欠かすことができない。 (→ 電子銃 ) 出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報. 電子ビーム直接描画システムは微細性に優れ,パターンジェネレーション機能があるので｢マスクレス+という特徴を持って. いるが,描画すべき画素数(ショット数)の増大に反比例してスループットが低下することが課題となっている｡システムLStの 開発では,毎時1～3枚のスループットの実現が求められている｡. 日立製作所が開発した電子ビーム描画システム"HL-900D"では,(1)セルプロジ工クション技術と,(2)ステージ可変速達続 移動技術の高度化を核に.恵解像化と高スループット化を実現しており,また,いっそうの操作性向上を図っている｡. はじめに. 半導体デバイスの微細化は,ロジックデバイスの高速. |sgu| xfg| faa| wiw| hoi| xwz| mzf| gli| mii| rzm| mfo| exc| wqh| knb| hro| xci| yoy| who| ywl| lbe| dbl| svu| htt| jti| iqe| rjj| dgs| wga| yta| kva| oam| jie| gve| cmx| oic| wft| bth| enc| lkf| ejq| jof| wqj| xsw| oyv| tgm| oyp| zvm| tjf| mbb| ejd|