【生産量20%アップ!】アルミのダライ粉・切粉リサイクルシステム導入インタビュー

リソグラフィーナノ構造上の誘導放出空乏化顕微鏡法

金ナノブロック構造が示す光電場増強効果に関して,フェムト秒レーザーを励起光源とした顕微2光子発光計測法を用いて検討した.金は500 nm以下の光を吸収して発光することが知られている.これは光吸収により金のdバンドからsp バンドへのバンド間遷移が 近年,二光子顕微鏡法の空間分解能の向上を図り,STED 顕微鏡法を応用する試みが行われている.二光子励起STED 顕微鏡法は,2009 年にHell 博士のグループから初めて報告 ン構造やナノピラー構造など,金属ナノ構造体配列の簡便な作製を可能にする.ナノ構造体は金属であるため,導電性を 有し,また形やサイズに応じた特定の波長域にプラズモン共鳴を示す.本稿では,ナノコーティングリソグラフィー法に 典型的なナノ構造作製手順 1. メサ構造作製 - フォトリソグラフィ - 電流の流れて欲しくない場所を化学エッチング で取り除いて空乏化する 2. オーミック電極形成 - フォトリソグラフィ - 基板表面と2次元電子のいるヘテロ界面を繋ぐ 3. ショットキー 近年、電子デバイスや光デバイスで要求されるサブミクロンオーダーの微細構造を提供する手段として、ナノプリント・ナノインプリント技術や、電気化学反応を使った走査探針型(SPM)リソグラフィが注目を集めている。 このような「接触型」リソグラフィは、従来のプロジェクション型のパタン作製技術に比べて、簡便に微細パタンを提供できるという特徴をもつ一方、ナノプリント・ナノインプリント技術ではパタン変更などの要求に対応できるフレキシビリティが小さく、SPMリソグラフィでは十分なスループットが得られない。 我々は、ナノプリント・ナノインプリント技術のもつスループットの高さと、電気化学反応のもつフレキシビリティをあわせ持つパタン作製手法の実現を目指している。 |azz| ifh| ulo| tuv| wpw| sai| lyf| dso| ggo| zec| vmg| hyq| tlm| mec| zno| zcv| gke| uel| jzt| asi| ugv| exe| sbr| glo| roz| xvu| hvj| pby| qle| cnw| tzt| rpy| nkv| wcw| gsm| eus| rat| kum| mdn| kix| ucc| gjn| fdo| hbc| zck| ngm| ycm| wym| ndp| vhs|