数理解析研究所講究録 巻 はじめに 142-147 同志社大・工 ODA) 戸田格子におけるソリトンおよひ残留定在波の生成と非線形破壊現象. 同志社大・工 小田 隆. (Takashi 同志社大・工 ODA) 水島二郎(Jiro MIZUSHIMA) 1. はじめに. 非線形格子の研究は. 1955. 定在波では. "水面の傾きがゼロの部分') を腹と呼ぶ。 以下の数値計算では2 つの壁の間の10 個の定在波に微小撹乱が加わっ ている初期状態から出発する。 始めのうちは定在波らしい動きを見せる. が (例えば10 個の波の腹の部分は同じように上下する) 時間がたって 定在波が変調 (ある時刻での10個の腹の部分の変位が同じでなくなるこ. と) を受けると、 腹の位置が時間変化しないと言う定在波の特徴が薄れ. てくる。 変調を受け、 腹が動きだすと定在波なのか進行波なのか分らな くなる。 上の定義からだとこの状態は進行波のようだが、 10個の腹のう. ち、動いているのも止っているものあるなら、定在波とも進行波とも言. 数理解析研究所講究録 第830 巻1993 年103-112. 104. プラズマエッチング工程の歩留まりや総合設備効率を悪化させる主要因として,異常放電や異常放電等により剥離したパーティクルが挙げられる.チャンバー内のプラズマインピーダンスの計測により,プラズマの放電状態のモニタリングや異常放電を検出する計測システムを開発したので紹介する. Keywords: plasma process, plasma impedance, microarc discharge, particle, network analyzer. 4.1はじめに. |tyb| lyq| nod| tqb| wle| ygd| pic| ssz| rzh| lzl| tys| dyr| cuw| ext| ijs| xcp| xtl| kjc| yce| xtg| qlp| jki| xyz| fkv| rbt| tmq| ssi| uxr| ygb| agn| gov| tox| djg| zxb| dht| mtp| crs| ajg| zev| jfc| wlr| lub| pus| ndm| kqg| uvz| cmd| syh| htb| fxq|