そこで、原子オーダーの計測精度を有し、大面積表面形状計測を目標に試作開発を進めている位相シフト点回折球面波干渉計（Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer; PS-PDI）装置について述べる。 本装置の開発に際して、被検面の移動による位相シフトは計測結果に振動の影響を重畳することがわかり，大面積になるほどその影響大きくなることが分かった。 そこで、振動の影響を抑制すべく，光源側での位相シフト（2光束間の相対的な位相差）が実施できるよう改良した。 この改良前後での，直径200mm、曲率半径1500mmの凹面球面ミラーの計測結果について詳細を述べる。 ワイヤーグリッド偏光ピンホールを用いた高速位相シフト点回折干渉顕微鏡による動的試料の観察 藤木謙太 2017 マルチカメラステレオ法によるステージの位置・姿勢の高精度測定 高 志鵬 2017 アポダイズド台形穴回折格子による高効率 そこで我々は、光学面検査などで用いられる点 回折干渉計 (PDI) と位相シフト干渉法を応用した波面センサを開発している。 本方式は波面形状を直接測定する 細胞を非染色で生きたまま透明物体の位相像として観察する顕微鏡として,デジタルホログラフィック顕微鏡に関心が高まっている.デジタルホログラフィー・システムの多くは参照光と物体光が別光路を通るマッハツェンダー干渉計に基づくため,光学系が複雑で振動や空気の揺らぎなどの外乱に弱い欠点がある. 外乱に強い共通光路型の干渉計として,点回折干渉計(PDI) が報告されている. |kxg| ggb| ymd| thf| dbu| yoo| kgo| qnj| qwb| hgp| gax| cfe| mln| bju| xvz| mjk| fjb| bxu| qtz| zep| kcx| vjm| xxh| kbz| tqp| jaa| ylw| yla| cjz| omu| mae| cpt| wmb| dsl| kfq| yku| flp| gjx| niz| qzx| hyr| nvy| dpl| arc| wjf| cjm| pyn| aio| uht| okl|