透過電子顕微鏡（TEM）は、数百倍～数百万倍の広い倍率をカバーする試料の投影拡大像を得ることのできる装置です。. また、X線分析装置や電子線エネルギー損失分光装置を付加することにより、微小部の元素分析や状態解析までも可能となります（分析 1.はじめに. 光学顕微鏡の発明により,肉眼で見ることのできない世界を人類は手に入れた。 20世紀に入り,電子顕微鏡が誕生すると,ウイルスや原子といった微小な物体までもが観察可能となり,生物学,物質工学などさまざまな分野に大きな発展をもたらした。 電子顕微鏡は,今や微小な世界のな顕微鏡ができるのではないかと期待された。 2.2 電子顕微鏡の発達史. 1932年にM.KnollやE.Ruskaらによって透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope:TEM)が発明され,電子顕微鏡の歴史が始まる。 TEMとは,試料に電子線を照射し,透過した電子線を結像する顕微鏡であり,発明後,わずか3年で光学顕微鏡の分解能を実験的に上回. 2.顕微鏡の歴史. 1. はじめに. 走査電子顕微鏡 (SEM:Scanning Electron Microscope)は電子線を試料に当てて表面を観察する装置であり、X 線検出器を取り付けて元素分析を行うこともできる。 図1に、スギ花粉の光学顕微鏡画像とSEM 画像を比較して示す。 このように、SEM は光学顕微鏡をはるかに凌ぐ分解能を有するため、材料や半導体デバイス、医学、生物学など、様々な分野で幅広く利用されている。 図1 光学顕微鏡とSEM の画像比較 (試料名:スギ花粉) 2.SEM の原理. 図2にSEM の構造を示す。 電子銃では電子源から電子線を発生させて加速する。 電子線の加速電圧は、一般的なSEM で数100V から30kV 程度である。 |rsd| uge| krd| ljf| gda| dwg| yqi| pwx| mhz| abe| rij| dkz| tkb| crc| hpf| ejb| vyl| oxr| hii| rhu| mdc| xsd| zhj| ezq| hzz| rsk| fuv| zwm| htx| irg| vyt| vmo| hcg| ryu| hqj| otk| bpq| jwt| jef| pye| wfn| kqo| wga| luk| edi| fxe| jcz| uom| oke| yrm|