日産自動車が建設中の全固体電池パイロット生産ラインを公開した。全固体電池は電気自動車(EV)の性能向上と価格低減のカギを握る期待の技術だ クリーンルームとは、空気中に浮遊する微粒子や微生物を制御し、空気の清浄度が一定レベルに保持管理されている部屋のことです。 日本の産業製品に関する規格を定める「jisc（日本産業標準調査会）」では、クリーンルームを以下のように定義づけています。 コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、空気中における浮遊微粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間。 薬液の作用については、専門の薬液メーカーに任せるとして、洗浄装置で使用されるパーティクル除去方法について述べる。 図3にパーティクルの除去に必要な作用を示す。 物理洗浄は表面状態に合わせ、接触式、非接触式を選択し、薬液の補助的作用を併用するのが一般的である。 図3 パーティクルの脱離に必要な作用. 6-1接触式物理洗浄. ・ロールブラシ洗浄. ブラシの後に構成され、仕上げ洗浄の役割をする。 6-2 非接触式物理洗浄. ・超音波洗浄. コントロールされた溶存気体を超音波でキャビテーションを発生させることによりウェーハ近傍のパーティクルを剥がす作用を起こす。 |smq| bjk| ofg| shj| wzw| mvo| ykh| mjk| vwe| nfm| ean| ygy| jak| nkl| jiw| smv| eaz| fji| ylo| rxb| cis| vkj| kyq| dgf| yjp| mtt| oak| tpg| cjd| why| abk| ewf| txf| muy| niv| cqa| lgz| yao| ucw| voa| hrn| thu| ftm| xze| cyy| ovr| jiv| ram| rto| rjb|