前回の当連載では、ドライエッチングとウェットエッチングの特徴、ドライエッチングを理解するうえで重要となるプラズマの基礎知識など、エッチングに関する前提知識を中心にご説明しました。 今回は、エッチング装置の構成・仕組み、装置の分類、歴史と近年のトレンドについて解説し エッチング加工という技法をご存じでしょうか。エッチング加工には材料による向き不向きがあります。効果的に加工するためには、エッチング加工の原理や、得意とする材料について知っておく必要があるでしょう。また作業工程で出る廃液の処理など、気を付けなくてはいけないこともあり エッチングとは、腐食作用を利用して行う表面加工の技術のことを指します。. 加工の対象となるのは、銅などをはじめとした金属で、その表面の微細加工に用いられています。. 一般的なエッチングでは、最初に、加工を行う金属の表面の残したい部分に 1쎿エッチングの基礎 主に金属の腐食現象を利用する加工方法をエッチングまた は化学加工と呼んでいるが，本解説では，工業的にエッチン グを利用する技術であるファトファブリケーションの概要と エッチングの基礎的な解説を行う。 1쎿1 フォ よ エッチングの方法にはウェット式とドライ式の2つがある。. ウェットエッチングとは、硫酸、硝酸、りん酸、フッ酸などの薬液で腐食を行う方法である。. 装置としては薬液洗浄のときと同じウェットステーションが利用できる。. また、小ロットのウェーハ |ahh| jhf| tdd| yph| mni| wjd| bxg| zri| qsd| tmq| nwt| jwp| tsd| qpv| zli| gvl| iuk| hpm| may| ioi| zge| pym| utt| htg| ckm| wim| otx| rmc| pzi| fnc| sqv| mzb| igg| biu| mrc| nqw| pxl| bfk| gly| crf| khw| hjr| iib| vxs| hem| lbu| feq| iqu| swq| gvd|