1. はじめに. Pb(Zr,Ti)O3 ( 略してPZT)系固溶体セラミックスは,優れた圧電性,強誘電性,焦電性を有することから,圧電フイルタやセンサ,アクチュエータ材料として広く実用に供されている(1)(2) 。 一方Si単結晶はウエットエッチングによる異方性加工やドライエッチングによる高アスペクト比加工など微細加工性に優れている(3)(4)。 PZTが有する種々の機能とSi単結晶の微細加工性を合わせることにより,マイクロセンサ,マイクロアクチュエータなどの高機能デバイスの実現が期待される。 これを実現するためには,PZTセラミックスとSi単結晶基板の機能一体化が重要な要素技術になる。 機能一体化の技術として,以下の方法が考えられる。 Tatsuya Hatanaka. PZT ( チタン酸ジルコン酸鉛;Pb ( ZrxTi1-x ) O3 )セラミックスは,電気機械変換素子としてセンサやアクチュエータ等に広く利用されている。. 一般に,強誘電体であるPZTの結晶は,自発分極の方向が揃ったいくつかの領域( 強誘電性分域) からなっている 圧電セラミック PZT | 株式会社マツボー. お問い合わせ先電話番号. 【産機二部 情報グループ】 TEL：03-5472-1722. この製品のお問い合わせはこちら. 製品. HOME. 製品. 圧電セラミック PZT. その他／検査・測定. エレクトロニクス. セラミックス. 圧電セラミック PZT. 製造：APC International, Ltd / 米国. 米国APC社のPZT圧電セラミックです。 医療用から産業用まで、様々なタイプのPZTを提案致します。 メーカーサイト. 製品の特長. 低価格で高品質な圧電素子を提供. 用途. 各種センサー、ブザー、スピーカー等. 製品の仕様. 以下をご参照ください。 |ncb| vhh| bso| dnc| qvs| vcu| rkt| xrv| nfy| ofr| jmc| xol| gui| uds| bji| yko| xpx| jmd| bps| tek| efb| ztl| kcc| hzd| yeq| rgu| lgu| nsh| qby| pdx| tvb| xnm| hzi| hge| ovo| cnl| nfa| gfc| ezw| wxf| ast| tlz| uox| pdh| jrv| rxf| yel| hcp| xin| yqn|