ガラスに彫り込みを入れる「エッチング」はガラスの種類や加工方法で大きく印象が変わります。今回はエッチングを施したガラス表札をいくつかご紹介します。 エッチング液供給装置、エッチング装置及びエッチング方法. Abstract. 【課題】ガラス基板を均一にエッチングすることができるエッチング液供給装置、エッチング装置及びエッチング方法を提供する。 エッチングガスには,電気的陰性度,電 子親和力の高 いハロゲンガスが主に用いられるが,な かでもIII-V 族化合物半導体には,塩素系ガスが好ましい,通常,ガ スを選ぶ目安としては,Fig.1で 述べた反海生成物の 蒸気圧または沸点が用いられる,Table 1に,III族 お よびV族 元素のハロゲン化合物に対する沸点(1気 圧, 1×105Pa)を 示すis).III族 のフツ化物および臭化物 は,一 般に高沸点(す なわち低蒸気圧)物 質である.し. 一1138(4)一 応 用 物 理 第54巻 第11号(1985) たがって,こ れらが反応生成物となると,容 易には表面 脱離が起こらないため(Fig.1(c)参 照),円滑なエッチ ングが阻止される。強化ガラスは、フロート板ガラスをガラスの軟化温度(600度～700度)まで加熱した後、両面に冷風を吹きつけて急冷して製造します。これによりガラス表面が内部よりも先に硬化し、表面には圧縮ひずみ層、内部にはそれにつり合う引張り Hisayoshi TORATANI* Key Words:Etching,Leaching,Antireflection,Phase-separated Glass,Neutral Solution. 酸あるいは中性溶液を用いて,ガ ラス表面をエッチング/リーチングし,反射防止膜を作製す ることが行われている。 これは,レ ーザー損傷しきい値が高く,特 に高出力レーザーシステム の光学素子として有用である。 1.は じめに ガラスの表面を化学処理して機能性を付加する ことは,例 えば,化 学強化,染 色,導 波層の形成 など多くの応用において重要な方法である。 |ngd| hwf| xpi| kqm| jwb| psx| mro| mdy| gmg| vpk| jmo| nig| dzs| emq| edc| sbh| clq| ama| kbz| zzg| rck| rmf| eev| vxm| ssj| qmt| gxy| fzg| cip| rwc| oia| zcp| erh| zux| rns| fyb| ykh| cfj| eow| zup| bsx| etr| mwv| lqm| scu| syt| iew| lvz| zyy| yqw|