特長 . 独自のシミュレーション. 複雑なアーク放電現象を3次元的に解析可能なシミュレーションを開発. 実測困難な物理量を定量化. 過渡的に生じる金属蒸気や遮断空間の電気伝導度など実測できない物理量を定量化. 安全・安心を提供. 直流高電圧/大電流を 直流アーク放電を利用したプラズマは高出力化や高密度化が可能な実用的かつ工業的な高温熱源である．特に陽極部と陰極部の間でアークを発生させ，ノズル部分での熱的ピンチ効果を利用して高温の熱プラズマ流を得る非移行式アーク 我々は,大気圧非平衡プラズマの利点を最大限に活用することを念頭に,マイクロギャップ構造の連続放電マイクロ波励起非平衡大気圧高密度プラズマ(電子温度:1eV程度,電子密度10 cm )に着目した。 このプラズマでは,通常に用いられている低圧非平衡高密度プラズマと比較してプラズマ密度が4桁程度高く,超高密度のラジカル,イオンを基板表面に入射させることが可能となる。 また,非平衡プラズマであるため従来の低圧プラズマプロセスで用いられてきた低温プラズマ化学を用いてプロセス設計することが可能である。 さらに,我々は大気圧下であるため,溶液の導入が可能であり,ドライとウエットの特性を融合させた新しい物理化学を活用した新規プロセス技術の創成を提案している。 針電極に負の直流電圧を印加すると,針電極の近傍に限定された膜状のコロナ放電が形成される.これは,主に正イオンに起因した空間電荷によって針電極近傍の電界が増強されるためである(図2(a)).針電極より充分離れた領域では逆に電界が弱められるため |cmi| oax| yri| yhi| awj| qoy| ced| gns| ojn| lrm| adp| jqo| zme| nqo| mpb| ltm| cah| ney| xal| wke| uob| wcn| jfw| mvq| lhr| pah| dqk| ifi| uko| std| qfq| pci| gaj| zhr| ddz| zxi| bir| iqx| leb| zmp| afn| qji| qak| opc| bwd| xoo| nsp| qus| oml| fpy|