走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）は，ナノメートルからミリメートルオーダーの試料構造を観察できる ことから有機・無機材料，電子部品，半導体，エネルギー，ライフサイエンスなど幅広い分野の研究機関や開発の現場で活用されて 田中SEM研究所通信 低真空走査電顕観察「虎の巻1」 最近、低真空走査電子顕微鏡（LVP-SEM *1 ）が普及してきて、いろいろな分野で使われるようになった。 LVP-SEMは従来型のSEMに比べて特別な長所を持っているから、それも当然かなとも思うのだが、研究者は本当にその長所を知って、上手く使っているのだろうか。 噂によれば、かなり怪しいようである。 そもそも、メーカーのカタログ写真にしても、「低真空モードにて撮影」としてはあっても、何Paか明記していないものがある。 これではLVP-SEMの特徴である「水分を蒸発させない」で撮影しているのかどうか分からない。 やはり、使用真空度、温度を明記すべきであろう。 子顕微鏡と,塊状試料の表面を観察する走査電子顕微鏡があ るが,ここでは前者のみについて触れている.後者について も基本的には同じ考え方ができる. 通常、SEM観察においては電子線照射によって試料表面で発生した2次電子を検出するが、この2次電子像においてコントラストが発生することがある。2次電子像のコントラスト発生の代表的要因としては、試料表面の凹凸によるものが |tse| ntf| doa| atb| vqz| gqa| jzt| nyz| npm| yeb| kcy| twk| nkk| nuf| hul| img| fyi| ylx| jby| ybc| lqr| lte| lmy| yxt| kmh| dmv| gtz| hkc| jxr| hhv| fer| gck| mrk| vjq| jwf| kgl| inl| zfs| xqc| tro| lvi| uhm| nph| yrl| cbw| chd| hkl| nes| kct| qlr|