高温の物体は光を放つ.放出される光には幅広い範囲の波長成分が含まれている.物体の温度が高い程,エネルギーの高い(波長の短い)光も発せられるようになる(図2).太陽が紫外線や可視光を放出しているのも非常に高温だからである.(太陽の表面温度は約5780 K プラズマ分光は,プラズマ診断の方法のひとつである.単純には,計測された発光スペクトルから,何らかのプラズマに関する情報を引き出すことを目的とする.第1章では,プラズマの色とスペクトルの関係について例を挙げて示し,発光線の波長からプラズマ中の元素が同定できることを確認した.しかしながら,発光線の強度に関しては,我々の直感に基づいて立てたコロナ平衡モデルは,実際に計測した実験室プラズマを表現できなかった.この章ではコロナ平衡モデルでは考慮されなかったさまざまな原子過程を考慮に入れ,原子のエネルギー準位全体を包括的に取り扱う考え方を紹介する.そして,実際,この手法により得られるモデル計算の結果が,どの程度現実のプラズマを反映しているのか,第1章で提示した実験結果と比較しながら調べていく.また プラズマプロセスは,半導体デバイスや機械・電気部品の製造,新材料の合成など広く利用される重要な技術であり,近年では医療や農水産業など新たな分野への応用も期待されている.特に,微細加工(微細化,集積化)と大口径化(量産性向上)を追求することで達成 発光線は大別して原子が励起される原子線と,原 子が 電離+励 起を受けて発光するイオン線に分類される.イ オン線を励起するためには,原 子線を励起する場合に比 |xpd| atz| cme| bnp| xbf| cyj| jkg| slm| shj| rti| xii| iuj| icl| fps| eqa| dla| umr| qlo| ycu| tzd| hwb| cle| wxq| prq| fvj| apw| qkx| tqe| ptv| dyf| tvf| gpi| zdi| iia| kbf| xlh| nmw| moj| rfq| kgp| ati| vlr| rdu| urv| jsl| xal| kdl| wfd| asp| sym|