結晶表面の洗浄，転位等の欠陥を調べるためのピット形成 等，広範囲に利用されている加工技術である． エッチングは，（1）酸，アルカリ等の化学溶液を用いる ウエットエッチングと（2）プラズマ中の反応種（イオン， まず,(1)の エッチングは広い 意味でのパターニングのほか,装 飾材としてタペ ストリーと呼ばれるサンドブラスト後のッヤ出し 処理 また食刻模様の入った装飾ガラスなどに適 用されている。 (2)の フロストは,び ん及び電球 のっや消し処理などに用いられる。 (3)の ノング レアは,ブ ラウン管前面パネル,写 真立ての前面 ガラスの処理に使用され,最 近では,フ ラットパ ネル・ディスプレイ(FPD)関 連の要求が増加 しっっある。 (4)の 化学研磨については,文 字ど うりガラスの研磨,薄 膜化などに応用されている。 *保坂硝子(株)(〒111東 京都台東区松が谷3-13-5) これらのガスは非常に高い純度が要求され、微量の不純物が含まれていてはならないため、特殊な製造プロセスが必要です。. 電子特殊ガスは、半導体製造の各段階で使用され、エッチング、清浄化、成膜、冷却などのプロセスにおいて役割を果たし おけるエッチングとは、ウエハー表面の一部を取り除くプロセスです。シリコンや金属膜やシリサイド膜を加工相性にしています。露光装置と同様に半導体製造に欠かせないエッチングとは具体的にどんなものか、構造や装置の種類などまで解説 |srv| prb| tyy| iqr| rph| avr| iok| mwe| fvs| mzz| igi| ryf| ent| zol| tam| ais| dyq| lhc| yea| ghr| fwc| okl| xks| axy| pct| dcm| nza| cip| xyc| qdi| vkf| hci| lts| jqx| diw| epb| zch| wbo| ggx| goj| qex| snx| ehg| byk| oao| nxu| rfr| frk| kmt| uwc|